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Efficient parametric amplification in micro-resonators with integrated piezoelectric actuation and sensing capabilities

机译:集成压电驱动和感应功能的微谐振器中的有效参数放大

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摘要

We report, in this work, on unprecedented levels of parametric amplification in microelectromechanical resonators, operated in air, with integrated piezoelectric actuation and sensing capabilities. The method relies on an analytical/numerical understanding of the influence of geometrical nonlinearities inherent to the bridge-like configuration of the resonators. We provide analytical formulae to predict the performances of the parametric amplifier below the nonlinearity threshold, in terms of gain and quality factor (Q) enhancement. The analysis explains how to overcome this nonlinearity threshold by controlling the drive signals. It predicts that in theory, any Q-factor enhancement can be achieved. Experimental validation demonstrates a Q-factor enhancement by up to a factor 14 in air.
机译:我们在这项工作中报告了在空气中运行的具有集成压电致动和传感功能的微机电谐振器中空前的参量放大水平。该方法依赖于对谐振器的桥状构造所固有的几何非线性的影响的分析/数值理解。我们提供了解析公式,以根据增益和品质因数(Q)增强来预测非线性阈值以下的参数放大器的性能。分析说明了如何通过控制驱动信号来克服此非线性阈值。它预测从理论上讲,可以实现任何Q因子增强。实验验证表明,空气中的Q因子提高了14倍。

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